晶圆激光退火设备--北京三吉世纪科技有限公司

产品介绍

LT200A 是一台智能化的晶圆激光退火系统。主要应用于晶圆的热处理工艺，包括晶圆合金化、注入退火和掺杂活化等。智能化体现在此系统配备图像定位系统、自动对焦系统、温度智能检测、全自动上下料系统和常规应用的数据库自动调用系统。

产品特点

技术特点

高性能激光器激光器、光束质量好、稳定性好、单脉冲能量高。	优化的光学系统光束整形，定制的平顶光斑提高退火温度一致性和加工效率。
完全自动执行机器视觉定位，精度高，无需人工干预，操作简单，效率高。	激光防护系统符合工业标准的激光防护结构，保证操作人员安全。

晶圆激光退火设备