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您当前的位置:首页产品展示集成电路封装设备 > ESI LT3100厚膜芯片元件激光调阻机
  • 产品名称: ESI LT3100厚膜芯片元件激光调阻机
  • 制造商: ESI
  • 主要功能: 片式电阻高速精密调阻

LT3100厚膜芯片元件调阻机

  • 光斑尺寸最小达8微米
  • 专利的532nm二极管泵浦激光器技术保证了最少的维护,长期的稳定性和高可靠性
  • 专利的光束校准技术和视觉系统保证了自动对位和精密的激光器定位
  • 采用高速操作手管理薄的基片,以及最新一代的小几何尺寸芯片电阻
  • 测量系统量程范围大

       5milli-Ohms到1 Gig Ohm

       可追溯的测量系统认证 

  •  ChipTrimTM软件

       图形化用户环境为芯片修调多有贡献

       全球化的语言支持

光斑尺寸:   -30 µm

            -20 µm (可选)

工作区域:   -75 x 10 mm

           - 65 x 10 mm (20 µm光斑)

焦深:       -305 µm

            -135 µm (20 µm光斑)

定位精度:    ± 25 µm

重复精度:    ≤12.6 µm

解析度:      1.1 µm

激光器类型:   二极管泵浦Q开关YAG激光器

波长:        1064nm

输出功率/脉宽:   -6W / 70ns

                 -6W / 30ns (可选)

XY行程:    100 mm x 200 mm

XY 解析度: 1 µm

Z 压力:    10 lbs (4.5 kg)

零件平台:

  -可选边缘固定或中心固定

      -真空固定

      -± 3.0° 平台旋转,0.001°解析度

双CCD相机系统用于高低放大倍率视觉查看

测量范围:-0.1 Ω – 1000 MΩ

          -0.005 Ω – 0.1 Ω (可选配)

基片尺寸:-50 mm x 60 mm

          -60 mm x 70 mm (可选)

电源:     100/120/230/240VAC +/-10%

          50/60Hz, 单相20A max

气:        80 psi @ 4scfm (113 l/m) filtered to 5µm且无污染

芯片电阻修调