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您当前的位置:首页产品展示集成电路清洗及防护涂覆设备 > SCS PDS 2060PC Parylene沉积系统
  • 产品名称: SCS PDS 2060PC Parylene沉积系统
  • 制造商: SCS
  • 主要功能: 派瑞林涂覆

    SCS 2060PC派瑞林沉积系统,通过专利的SCS软件进行操作,为客户提供特性和功能上的高质量、

高性能及高可靠性,使得SCS在派瑞林涂覆及技术领域成为世界的领导者。派瑞林涂覆在室温下进行,

沉积设备可同时控制沉积速率和最终膜厚可控。Parylene的沉积是多聚物分子级别的沉积,而涂覆制

程的精密控制对高质量的涂覆而言至关重要。

    SCS PDS 2060PC设计用于大规模工业生产Parylene镀膜。

系统特性

·  基于Windows®的操作系统

·  用户可自行配置的操作参数

·  温度和压力数据采集

·  不间断电源(备份电池)保护系统安全关断

·  符合NFPA-79CE

·  自动蒸发阀及泵阀

·  各种垂直和水平沉积室设计

可选特性

·  真空泵排气过滤装置

·  带低温探针温度传感器的串联式制冷系统

·  自动液氮控制

·  滚筒翻转装置

尺寸(宽X深X高)

263cm x 82cm x 177cm(设备长度因沉积腔规格不同会有变化)

重量

630kg

标准沉积室尺寸

18x15in(67L), 18x24in(100L), 24x32in(268L)

电源

380V/50Hz,30A三相

可装料

1000克

真空泵

19CFM@50Hz

控制

全自动计算机温度和压力控制,错误报警监控

尺寸(宽X深X高)

48 x 79 x69cm

电源

50Hz,220V,10A

温度

-120℃

应用领域

•  Electronics电子

•  Medical Device 医疗器械

•  Automotive 汽车电子

•  Military/Aerospace军事/宇航

•  LEDs LED照明及户外广告

•  Elastomers橡胶