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  • 产品名称: ESI Circuit Trim™ LT2210 薄膜激光修调系统
  • 制造商: ESI
  • 主要功能: 调阻

Circuit Trim™ LT2210薄膜激光调阻机

采用绿光(532nm)激光器技术,可选20μm或者30μm光斑尺寸

光斑尺寸的选择可编程

可编程的Z平台,解析度4μm,保证最优的焦点控制

专利的光束校准及视觉系统软件保证精密的激光器定位

最新一代的二极管泵浦激光器技术保证了最少的维护,长期的稳定性和高可靠性

测量平台支持有源和无源修调应用

可追溯的测量认证

电阻范围从5 milli-Ohms 到1 Gig Ohm

VersiTrim 2™软件-图形化用户界面,任务创建和操作简单

闭环X,Y,Z,θ平台
X-Y 行程:12”x 17”
X-Y 分辨率:<0.0004”

X-Y 重复精度:<0.0002”
Z 轴行程:0-0.400”
Z
轴分辨率:0.0005”

Z轴重复精度:0.0005”
θ 角范围:±5°
θ
角分辨率:0.001°

探针压力:5.7Kg

高速Galva振镜光束定位

光束定位分辨率:1.52μm(15μm光斑尺寸),0.80μm(8μm光斑尺寸)

光束定位重复精度:≤12.6μm

光束区域尺寸:100mm x 100mm(15μm光斑尺寸);50mm x 50mm(8μm光斑尺寸),25mm x25mm(8μm光斑尺寸,可选配)

双CCD相机(分别为高低倍率)视觉系统

设备尺寸(宽x 深x 高):1767.8mm x 812.8mm x 1550.2mm

电源:100/120/230/240VAC±10%,单相50/60Hz

气源:80psi@4scfm(113 l/m) 

LT2210是一种针对薄膜电阻、电阻网络、混合电路、温度感应装置(RTDs)及其它薄膜小几何尺寸应用进行修调和测试的多功能平台。