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实验型晶圆凸点电镀系统
制造商:日本
主要功能:晶圆凸点电镀

  •        电镀过程是金属化的过程,通过全密闭单片式电镀腔体,将电镀液中的金属离子电镀到晶圆表面,以形成金属互联。导电电极会连接至晶圆,采用电镀工艺沉积金属至晶圆上图案化的沟槽内而形成金属层(又称为金属薄膜)中的金属线,例如形成铜线,或者金线。
           此电镀设备可运用于多种晶圆材料如Si、InP、GaAs、GaN、LiNbO3、SiC等,也可做电镀Au、Cu、Ni、Sn、Ag等多种金属的单层电镀工艺。
           同样适用于多种电镀工艺,如凸块,RDL,通孔,盲孔,深孔等工艺需求,拥有出色的均匀性。
           根据工艺需求,可提供配套的电镀药水。
           实验型采用单CUP的电镀槽体,属于小型电镀实验设备,电镀液的体积不足10升,有效地降低了实验的成本。

  • 1,环状电极和镀液喷涌搅拌装置,可以更好的保证电镀均匀性,也可电镀深孔深槽,Au、Cu、Ni、Sn、Ag等多种金属。
    2,可满足不同尺寸晶圆的电镀需求,可支持2~8英寸,更换夹具方便快捷。
    3,可选配不同的镀液,支持单层金属沉积工艺。
    4,槽体及管路采用pump材质,可耐强酸碱。
    5,采用单CUP结构,手动上下料,可实验多品种的快速切换。
    6,适用于研发型小批量多品种的工艺测试和生产。

010-56380018