INREMA型 光掩模与光栅检测设备

光掩模与光栅检测设备

INREMA专为满足当前及未来成熟光掩模检测需求而设计，具备完整的芯片到数据库（D2DB）检测能力和颗粒检测功能。

支持透射式与反射式（T/R）照明系统，兼容4英寸至14英寸（含特殊规格如6×12英寸、8×10英寸）的掩模尺寸。

INREMA的无耗材设计高度契合高通量、快速周转及成本敏感型掩膜生产需求，可实现全天候连续运行且运行成本极低。

INREMA的空气轴承运动系统与无污染架构专为ISO3级及更高等级洁净室环境优化设计。

核心功能与特性