OFFLINE FLEX型 半自动光学检测机

其高精度运动系统采用花岗岩基座设计，可实现卓越的振动隔离及热动稳定性。模块化结构设计在成像系统、照明配置及传感器参数设置方面具有高度灵活性，可选配共聚焦传感器以实现精确的高度与厚度测量。

多孔石材真空巢确保即使对厚度低至10 µm 的超薄基板也能实现高精度和可重复性，而玻璃制品专用巢适配器可支持TGV应用中515×510mm的最大尺寸。该系统特别适用于工艺验证、质量保证及研发环境。